产品介紹

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点光谱共焦测量显微系统是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统，对于表面漫反射或镜反射之物体乃至透明材质皆可测量其位移或厚度，基于出光与回传讯号路径同轴之特徵，点光谱共焦测量显微系统亦适合于深孔/盲孔工件的量测应用。

产品特点

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1. 物镜可以选用独立接口，也可以选用6孔鼻轮模组连接；

2. 对国内外主流物镜均可适配；

3. 光谱共焦模块结构简洁，测量精度高、速度快；

4. 最适合对观测面反射率高的表面使用，对透明物体表面同样适用；

5. 光谱共焦模块测量与主成像光路共轴，不存在遮挡问题，且对焦检测光斑小，可以对槽、孔、凹坑等区域精准测量；

6. 支持微分干涉观测方式；

7. 可以与运动控制单元整合实现高速精准对焦。

应用领域

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广泛应用于电子、半导体、面板、设备等行业。测量高度、段差、厚度、平面度，玻璃、陶瓷、镜面金属的轮廓，如手机、PCB、钢化玻璃屏幕保护膜、半导体晶片。

产品参数展示 

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