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彩色光谱共焦位移传感器

彩色光谱共焦位移传感器

彩色光谱共焦位移传感器是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统，对于表面漫反射或镜反射之物体乃至透明材质皆可测量其位移或厚度，基于出光与回传讯号路径同轴之特征，彩色光谱共焦位移传感器亦适合于深孔/盲孔工件的量测应用。

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彩色光谱共焦位移传感器

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